等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，其來源于氣態(tài)但又不同于氣態(tài)，當氣態(tài)物質(zhì)升溫到一定溫度時，原子核外電子便會逃離原有軌道而成為自由電子，而逃離的電子和失去電子的原子核在數(shù)量上相等，使得整個體系的正電荷數(shù)與負電荷數(shù)相等，故稱之為等離子體。由此而產(chǎn)生的等離子體的組分有原子、分子、離子、電子、光子、活性組分、激發(fā)態(tài)的粒子等。

　　獲得等離子體的方法較多，有熱電離、光電離、氣體放電、輻射放電、沖擊波等，常規(guī)產(chǎn)生方法主要有2種，即電暈放電和輝光放電.電暈放電是指在大氣壓力下，通過在電極間施加高強度電壓而產(chǎn)生的弱電流放電，介質(zhì)通常為空氣;而輝光放電則是電場強度更高、氣壓低于大氣壓的高頻低壓放電，介質(zhì)可以選用不同氣體.

　　等離子體技術(shù)中明顯的特點就是等離子體具有一定的化學(xué)反應(yīng)特性。可以以一種不同于其他物質(zhì)的第四狀態(tài)存在，電子、正負離子、激發(fā)態(tài)原子、分子以及自由基等粒子等是組成等離子體的主要成分。在性能上表現(xiàn)為一種準中性非凝聚系統(tǒng)。

　　學(xué)術(shù)上對等離子體的分類方式有很多，按照溫度來區(qū)分，可以分為熱力學(xué)平衡態(tài)和非熱力學(xué)平衡態(tài)等離子等離子體。熱力平衡狀態(tài)的等離子體所處于的環(huán)境較高，因此也可以稱之為高溫等離子體，相應(yīng)的非熱力學(xué)平衡狀態(tài)的等離子體也被稱為低溫等離子體。

　　等離子清洗機是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。